芯片测试分选机转塔的“低温考场",惠斯通高低温真空电机为芯片品质守住-40℃精度
芯片制造的最后一道工序是测试——将封装后的芯片置于各种环境下测试其电气特性。在转塔式分选机中,转塔圆周上均匀分布多个可独立上下运动的吸嘴,每个吸嘴均具备独立真空控制与动作时序。设备在一个旋转周期内同时完成取料、测试、分选和编带。
转塔式分选机以直驱电机为主要驱动部分,通过主转盘的转动将芯片置于各个工位进行测试。芯片测试分选流程将封装后的芯片置于各种环境下测试其电气特性。为了提高测试的准确性,芯片需要在不同的温度下完成测试,以验证其在不同环境下的性能表现。部分测试需要在-40℃至+125℃的温度范围内进行,以模拟芯片在各种环境下的工作状态。

转塔驱动的“低温精度困局"
在低温测试环境中(-40℃至-55℃),普通电机的轴承润滑脂会凝固,导致启动扭矩急剧增大;编码器信号在低温下漂移,定位精度下降;绝缘材料在热循环中产生微裂纹,导致绝缘性能衰减。
在高温测试环境中(+125℃至+150℃),普通电机的磁钢可能发生不可逆退磁,输出扭矩下降;润滑脂在高温下氧化碳化,轴承卡死。
在频繁的温度切换中(-40℃至+125℃循环),不同材料的热膨胀系数差异导致内部应力累积,焊点疲劳、绝缘层剥离、轴承游隙异常——每一次温度切换都是一次“疲劳加载"。

惠斯通方案:宽温域+闭环控制+高可靠性
惠斯通高低温真空伺服电机是专为芯片测试分选机转塔驱动设计的“全温区动力"方案。电机温度范围覆盖-196℃至+200℃,从低温测试到高温老化全温区通行。宽温域特种润滑脂配合C3级大游隙轴承,在低温下不凝固、高温下不流失。钐钴磁钢居里温度700-800℃,在高温测试环境中不退磁。23位绝对值编码器配合闭环矢量控制,在全温度范围内保持微米级定位精度。
在芯片测试分选设备中,惠斯通高低温真空电机已成功应用于转塔主驱动和吸嘴升降机构,在-55℃至+150℃的温度循环测试中保持稳定的扭矩输出和定位精度。
当芯片测试分选机的转塔在-40℃低温中完成每一次精确定位时;当吸嘴在高温测试中以微米级精度完成芯片取放时——惠斯通高低温真空电机正在用-196℃至+200℃的宽温域适应和微米级定位精度,为芯片品质测试守住每一度精度的底线。

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高低温真空电机系列覆盖-196℃至+200℃,真空度可达10⁻⁷Pa,TML<0.1%,CVCM<0.01%。可提供基座从40mm到400mm、功率从50W到200kW的定制方案,适配芯片测试分选机、转塔式分选机、平移式分选机等半导体测试设备。
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